https://news.samsungdisplay.com/32664
디스플레이에서 '잉크젯 프린팅(Inkjet Printing)'이란 잉크젯 헤드의 노즐을 통해 용액의 형태로 분사해 OLED 디스플레이 픽셀을 만드는 기술입니다. 마치 프린터가 종이에 잉크를 뿌려 인쇄하는 것처럼 수십 피코 리터(1조분의 1리터) 이하의 OLED 잉크를 분사해 디스플레이를 양산하는 방식입니다.
잉크젯 프린팅을 위해서는 먼저 OLED 용 유기재료를 용매(Solvent)에 녹여 잉크의 형태(Soluble OLED)로 변경해야 합니다. 소금(유기재료)을 물(용매)에 녹이는 것과 유사한 원리입니다. 그다음 유기재료가 잘 녹아든 잉크를 잉크젯 헤드의 노즐을 통해 디스플레이 기판의 R, G, B 색상별 서브 픽셀을 생성할 격벽(Bank) 사이로 주입합니다. 주입이 모두 끝난 잉크를 건조해 용매를 제거하면 기판에는 실제로 발광에 필요한 유기재료만 남게 되며 OLED 발광을 위한 픽셀 제조가 완료됩니다.
잉크젯 프린팅 방식은 진공상태에서 유기물을 기화시키는 증착 방식과 달리, 상압이나 낮은 수준의 진공에서도 제조가 가능하며, 원하는 픽셀에만 적정량의 유기재료를 주입하는 방식이기 때문에 재료 사용 효율을 높일 수 있는 장점이 있습니다. 또한 증착 방식에 비해 상대적으로 원장 기판의 크기가 큰 대면적 패널 제작에 유리한 기술입니다.
그러나 유기재료 막 두께 형성 균일도와 농도 균일도 및 커피링(Coffee-ring) 현상 등 아직 상용화를 위한 기술적 걸림돌이 남아 있습니다. 업계에서는 재료와 공정 기술에 대한 연구 개발로 기술적 난제를 극복하면 향후 인쇄 기술을 통해 OLED 디스플레이를 제작하는 시대가 열릴 것으로 기대하고 있습니다
https://tae-bbong.tistory.com/355
SK엔펄스
EFEM
반도체 제조 공정에서 웨이퍼의 이송을 담당하는 모듈
EFEM(Equipment Front End Module)은 반도체 제조 공정의 프로세스가 원활하게 이루어질 수 있도록 웨이퍼의 이송을 담당하는 모듈입니다.
반도체 고집적화에 따른 요구 SPEC’에 대응할 수 있도록 차별화된 Robot 기술력을 바탕으로, Wafer Placement Accuracy 향상과 Wafer Damage
최소화를 이룰 수 있는 EFEM 시스템을 자체 개발하여 상업화를 하였습니다.
https://youtu.be/GAgRV_mdls8
EFEM Software는 Windows 기반의 Platform으로 C#과 C++ 환경으로 자체적으로 개발되어 EFEM에 탑재 운영이 되고 있습니다. 설비를 구동 시키는 TMC영역과 사용자가 쉽게 이용하기 위한 GUI를 지원합니다. ( GUI 없이 TMC만으로도 구동이 가능 함.)
Control 방식으로는 크게 Job과 Schedule을 Handling하는 “Communication Control Type”과 Process 설비로부터 명령만 전달받아 구동 되는 “EFEM Main Control Type”으로 구분됩니다. Communication Control Type은 EFEM Software와 Process Module Controller간 Interface Communication을 하면서 FA Host과도 EFEM Status report을 하는 타입입니다.
Wafer의 Loading/Unloading 이송을 자동으로 진행하는 장비
300mm Wafer를 국부청정시스템을 적용하여 Particle 오염을 최소화 하며, Wafer를 작업자의 선택대로
공정에 맞게 Wafer의 Loading/Unloading 이송을 자동으로 진행하는 장비입니다.
- EFEM (Equipment Front End Module)
EFEM은 대기압 상태 또는 양압에서 Wafer의 이송을 위한 장비로서
Wafer가 보관된 Foup을 Loading 하기위한 LPM,
상부에 Particle억제를 위한 Fan Filter Unit,
그 하부에 Wafer이송용 Atmosphere Robot,
Wafer의 Aligning을 위한 Aligner 로 구성된다.
싸이맥스등 뉴스기사 출처
1.어떤 방향으로 움직이는 지
2. 축이 어딘지 Axis
3.실린더 위치
4. 어떤 방식 작동